FCS®

2007年 第4回モノづくり部品大賞 奨励賞 受賞！

FCS®は次世代半導体プロセスにおける、高次元でのプロセス安定性を追及すべく開発されました。

FCS®サーマルシリーズ

ガス供給系の重要なコンポーネントであるMFCをサーマルシリーズとして新たに製品化しました。

ナノワン®シリーズ ミニチャンネルバルブ

ミニチャンネルサイズでマイクロ流量制御する超小型流量制御バルブ

静止型ミキサー 混合君®・分散君®

2009年度 日本機械工業連合会 会長賞受賞！
2008年度 日本機械学会 優秀製品賞 受賞！
2007年度 化学工学会 技術賞 受賞！

目的に応じて、液体系から固液、気液系に応用でき、任意の粒径のエマルジョンを簡単に作れます。

V-LOK®

• グローバル
• フレアー等特殊工具や溶接不要

PURE®シリーズ

PURE製品は、数々のハイテク対応技術が随所に配されたウルトラスーパークリーンルームで研究開発されています。
その清浄度は世界最高水準のレベルを誇るクラス１です。
ここで生み出されるものだから、極限の要求に応える世界No.1の品質が約束できるのです。

SR100E

2006年 第3回モノづくり部品大賞 機械部品賞 受賞！

制御の精密さ、作動の確実性はもとより、群を抜く応答性の良さを兼ね備えた電動コントロールバルブです。

燃料電池自動車 高圧水素充てん機用 制御弁・遮断弁

2008年 超モノづくり部品大賞 環境関連部品賞 受賞！

• 超高耐久性
• 超高圧水素(84MPa)対応
• コンパクトでかつ高信頼性

IGS®

2005年 内閣総理大臣表彰 第1回ものづくり日本大賞 優秀賞 受賞！

のIGS®は、ながれ(流体)制御技術を常にリードし、省スペース化、クリーン化を行います。

UPG®

2004年 第1回モノづくり部品大賞 部品賞 受賞！

デッドスペースの極小化、従来比70％の小型化を実現し、さらにシール性能を大幅に向上させた信頼性の高い究極の超小型継手です。

ミニュコン®

の本モノづくりの総力を結集して製造された空気圧作動式コントロールバルブです。
制御の精密さ、作動の確実性は各種の研究実験やプロセスライン等の精密ながれ(流体)制御に適しています。

ウエアレスダイヤフラムバルブ

薬液プロセスでインライン洗浄が可能なバルブです。流体通路がストレートスルーで、容易に洗浄が行えるため、クリーニング用の薬液を大幅削減することができます。

ダイヤフラムバルブ

ダイヤフラムバルブは、製薬プロセスのコンタミネーションの軽減化を実現し、デッドスペースを無くすべく、開発されました。

ファインセラミックスボールバルブ

ファインセラミックスボールバルブ“コズミックス™”は、接液部はファインセラミックス製で、酸、アルカリに強く、耐薬品性、耐磨耗性に優れています。